平面平晶測量平面性的原理依據(jù)

  測量時(shí)，先使平晶邊緣輕輕地與被測表面接觸，逐漸使整個(gè)表面接觸，再調(diào)整平晶使與被測表面之間保持一微小夾角，直到出現(xiàn)清晰的干涉條紋為止。如干涉條紋很密而調(diào)整平晶位置又不能使干涉條紋的間距加寬，則說明被測表面或平晶上有微塵或其他雜物，應(yīng)清洗。

  光在平晶表面反射和被測表面反射回來的光線形成干涉現(xiàn)象。由于被測表面平面度的影響，干涉光線的光程差不同，因此形成干涉條紋。通過測量干涉條紋的彎曲量并計(jì)算可得被測樣品的平面度。
          

  是利用光線的干涉原理，在波的傳播過程中，介質(zhì)中質(zhì)點(diǎn)的振動(dòng)雖頻率相同，但步調(diào)不一致，兩個(gè)質(zhì)點(diǎn)的振動(dòng)步調(diào)一致，為同相點(diǎn)；介質(zhì)中各質(zhì)點(diǎn)同時(shí)參與兩個(gè)振源引起的振動(dòng)。

  質(zhì)點(diǎn)的振動(dòng)為這兩個(gè)振動(dòng)的矢量和，距離差為波長的整數(shù)倍時(shí)，兩波源在P點(diǎn)引起的振動(dòng)的步調(diào)一致，為同相振動(dòng)，疊加結(jié)果是兩數(shù)值之和，即振動(dòng)加強(qiáng)，是強(qiáng)點(diǎn)；疊加結(jié)果是兩數(shù)值之差，即振動(dòng)減弱，是弱點(diǎn)；由此看來，強(qiáng)點(diǎn)與弱點(diǎn)只與位置有關(guān)，不隨時(shí)間變化。正因?yàn)椴浑S時(shí)間變化，才被觀察到，才能形成干涉圖樣。